產(chǎn)品分類
更新時間：2025-08-19 
瀏覽次數(shù)：258"Model:LS"真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該Model產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機型中，您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。
LS120A
LS300A
LS600A
■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。
■標(biāo)配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，
這是一個在運轉(zhuǎn)過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）
■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛發(fā)科技術(shù)。
該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■“Model:LS"無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本（*3)
■希望進(jìn)一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。
通過組合使用排氣速度可以達(dá)到120～1200m3/h。
（*1）LS120A-C時
（*2）C規(guī)格時
（*3）L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。
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“Model:LS"有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。
其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。
| 型式 | （C：C式樣） （L：L式樣） | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | ||
| 最大排氣速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
| 到達(dá)壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
| 電源電壓 | 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
| 消費電力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
| 冷卻水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
| Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 |
| 最大水蒸氣 處理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
| 噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
| 吸氣口 | KF50(水平)／ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
| 排氣口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
| 質(zhì)量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
| 適用規(guī)格 | CE、cTUVus | ||||||||
| 標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | 電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護(hù)器 | ||||||||
| 本體選配件 | 電源電壓：200V級或400V級、密封部材質(zhì)：全氟彈性體(僅用于L型) | ||||||||
| 外部選配件 | MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge | ||||||||
*1：到達(dá)壓力時
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對應(yīng)無漏
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