產(chǎn)品分類
更新時間：2025-08-19 
瀏覽次數(shù)：233特點(diǎn)
通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。
用途
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
規(guī)格
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排氣速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到達(dá)壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消費(fèi)電力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | L/min | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質(zhì)量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 適用規(guī)格 | CE、cTUVus | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer | |||
| 本體選配件 | Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM | |||
| 外部選配件 | Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve | |||
*1：到達(dá)壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer
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