LINTEC林泰克將20SLM的N2氣體加熱至300℃HX-0051H北崎熱賣

更新時間：2025-05-29

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小型氣體加熱器（熱交換器）

瞬間高效率流體加熱技術產(chǎn)品HX系列。

該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊，加熱部分與流體不直接接觸，可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。

在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。

通常，配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點，即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心，從而達到穩(wěn)定加熱的目的。

在半導體制造工藝中，不僅需要對氣體進行加熱處理，氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設置質(zhì)量流量控制器以控制流量，加熱器(輸出端)則需采用低壓降結構。LINTEC自主研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結構，適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。

最高使用溫度達300℃的小型熱交換器。

HX-0051H

導入液體汽化器的載氣流量一旦超過5SLM，汽化室溫度就會降低，從而影響汽化效率。鼓泡法、固體升華同樣存在這一缺陷。要想使汽化或升華反應持續(xù)穩(wěn)定，對載氣進行溫度管理是必要的要素。HX-0051H系列熱交換器的最高使用溫度可達300℃，適合對載氣進行加熱。

	流量(N2換算)	壓力損失(N2)	耐壓(G)	使用溫度	接觸氣體部位材質(zhì)
規(guī)格	20SLM	40kPa	1MPa	300℃	SUS316L不銹鋼

※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。